成人欧美一区二区三区黑人,国产精品美女久久久,国产精品久久久久久人妻精品,亚洲色成人网站www永久四虎

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 >外延層的雜質(zhì)分布

外延層的雜質(zhì)分布

更新時間:2020-05-13   點(diǎn)擊次數(shù):2327次

外延層必須是經(jīng)過摻雜的單晶層。從器件制造的角度考慮,總希望外延層具有均勻的一定量的單一雜質(zhì)分布,而且要求外延層與襯底界面處雜質(zhì)分布濃度陡峭一些。

SiCl4氫還原法外延由于在高達(dá)1200℃高溫下進(jìn)行,襯底與外延層中雜質(zhì)相互擴(kuò)散,從而使襯底與外延層形成雜質(zhì)濃度緩變分布,這就是外延中的擴(kuò)散效應(yīng)。這種效應(yīng)是可逆的,生成的HCl對硅有腐蝕作用。在襯底腐蝕的同時其中雜質(zhì)就釋放出來,加之在高溫外延過程中,高摻雜襯底中的雜質(zhì)也會揮發(fā),此外整個外延層系統(tǒng)中也存在雜質(zhì)的沾污源,這三種因素造成的自摻雜效應(yīng)嚴(yán)重影響了外延的雜質(zhì)分布,外延電阻率做高也不容易。

SiH4熱分解法反應(yīng)溫度低,其化學(xué)反應(yīng)激活能是1.6eV,比SiCl4小0.3eV,可以在1100℃時獲得與1200℃下SiCl4反應(yīng)時相當(dāng)?shù)纳L速率,同時這種方法不產(chǎn)生HCl,無反應(yīng)腐蝕問題,因而擴(kuò)散效應(yīng)和自摻雜現(xiàn)象不如SiCl4嚴(yán)重。如果采用“背封”技術(shù)和“二步法”外延,用SiH4熱分解法就能獲得較為理想的突變結(jié)和濃度分布。

久久国产精品免费一区| 香蕉久久夜色精品升级完成| 久久久久亚洲av成人片乱码 | 高中女学生破苞视频免费| 亚洲熟妇AV日韩熟妇在线 | 精品久久久久成人码免费动漫| 夫妻那些事全集免费观看电视剧 | 久久久无码一区二区三区| 四十路の五十路熟女豊満| 国内少妇偷人精品视频免费| 久久久久久国产精品免费无码| 亚洲av无码日韩精品影片| 中文无码成人免费视频在线观看| 国产免费无码一区二区| 无码人妻少妇伦在线电影| 青青草原综合久久大伊人精品| 精品人妻无码一区二区三区| 里番本子纯肉侵犯肉全彩无码| 小蜜被两老头吸奶头在线观看| 国产A级三级三级三级| 性色av网站| 国产精品久久久久久妇女| 亚洲色偷偷色噜噜狠狠99网| 国产性猛交╳xxx乱大交| 欧美大屁股xxxx| 亚洲色无码a片一区二区麻豆| 国产特黄级aaaaa片免| 久久亚洲av永久无码精品| 欧洲人妻丰满AV无码久久不卡| 国产人妻777人伦精品hd| 国产亚洲精品麻豆一区二区| jizz日本| 久久久受www免费人成| 亚洲精品国产精品国自产观看| 国产99久久久国产精品免费看| 曰韩人妻无码一区二区三区综合部| 日本无码视频在线观看| 日韩精品久久无码中文字幕| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 性色做爰片在线观看ww| 水蜜桃av无码|